與熱離子和熱場(chǎng)發(fā)射器不同，CFE在室溫下工作。當電子響應于強電場(chǎng)的施加而發(fā)射時(shí)，就會(huì )發(fā)生場(chǎng)發(fā)射。為了實(shí)現這種高場(chǎng)，單晶鎢被蝕刻到顯微鏡下鋒利。CFE是非常高亮度的光源，因此在需要高電流密度和可以實(shí)現真空條件的應用中表現出色。
AP Tech離子源, 冷場(chǎng)發(fā)射器 濺射陰極
在A(yíng)PT，我們在內部種植和加工自己的單晶鎢。我們的蝕刻工藝可以根據客戶(hù)的要求進(jìn)行定制，并受到嚴格控制，以確保質(zhì)量和一致性。APT可以為CFE提供任何發(fā)射極-基極/抑制器配置，包括FEI/Philips、Denka、Hitachi、JEOL和自定義配置。
使用此圖表可比較我們的 TE、CFE 和 TFE 離子源的一般操作要求和性能規格。
AP Tech 鋯鎢（ZrOW）熱場(chǎng)發(fā)射器（TFE）原理
熱場(chǎng)發(fā)射器（TFE）被加熱，就像熱離子發(fā)射器一樣，但也被電化學(xué)蝕刻，具有微觀(guān)上鋒利，類(lèi)似于冷場(chǎng)發(fā)射器的方式。在工作過(guò)程中，由于發(fā)射極的銳度及其對抑制器的定向，在源端產(chǎn)生了非常高的電場(chǎng)。電場(chǎng)對勢壘的降低和通過(guò)加熱提供給電子的熱能產(chǎn)生了一個(gè)能夠以非交叉模式（或虛擬源模式）工作的源。因此，與熱離子發(fā)射器不同，tfe不受空間電荷限制，并且比典型的熱離子源亮幾個(gè)數量級。APT現在提供鋯鎢熱場(chǎng)發(fā)射器（ZrOW TFE），俗稱(chēng)肖特基源。ZrOW TFE是電子束應用的行業(yè)標準發(fā)射器，需要高亮度，提高空間分辨率，穩定發(fā)射和長(cháng)壽命。我們的ZrOW源滿(mǎn)足一般OEM性能規格和操作參數，并且可以使用定制的端形（半徑）幾何形狀和任何發(fā)射器底座/抑制器配置（包括FEI/Philips， Denka，日立，JEOL或定制配置）制造。
