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簡(jiǎn)要描述：丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器聯(lián)系張經(jīng)理：I872I868549（微信同號）
產(chǎn)品型號：VPM-7廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-12-13訪(fǎng) 問(wèn) 量：658
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| 品牌 | 其他品牌 | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
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丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM傳感器專(zhuān)為半導體負載鎖緊、精密壓力控制和其他真空應用而設計，在這些應用中，相對于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測量非常重要。
9 個(gè)倍程的超寬測量范圍
精密大氣開(kāi)關(guān)功能
用于控制的可靠固態(tài)繼電器
氣壓環(huán)境壓力測量
0-10 VDC 可編程電壓輸出，支持其他供應商仿真
數字 RS-232 或 RS-485 接口
StableZero™ 漂移補償
MKS 901P 的直接替代品
用于診斷的真空溫度傳感器
RGB LED彩色壓力指示器
可選耐腐蝕版本
丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器
與傳統的負載鎖傳感器和其他負載鎖傳感器解決方案相比，它具有更寬的測量范圍、更高的精度和更快的測量周期，具有性能。
SmartPirani ATM基于一項正在申請技術(shù)，該技術(shù)通過(guò)將皮拉尼熱損失真空計的熱導率測量范圍延長(cháng)1-3個(gè)十年，建立了新的標準。
VPM-7 是一款真正的多傳感器，具有四個(gè)壓力輸出，結合了氣壓環(huán)境傳感器、寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、絕對隔膜傳感器和相對于大氣壓的信號，以?xún)?yōu)化現代負載鎖真空室的壓力控制。隔膜傳感器讀數與氣體無(wú)關(guān)，絕對壓力為 2 至 1333 mbar。
負載鎖是一種真空室，用于將半導體晶圓等設備從環(huán)境氣壓加載到真空處理室。負載鎖通常在大氣氣壓環(huán)境壓力和將晶圓轉移到加工真空室所需的足夠真空壓力之間循環(huán)。精確控制負載鎖真空室中的壓力對于防止環(huán)境空氣和顆粒污染負載鎖和晶圓至關(guān)重要。
用戶(hù)可以對傳感器設置和參數進(jìn)行編程，以控制真空系統和應用參數。
數字串行接口支持診斷、預測性維護、維修、校準、設定值配置、模擬輸出縮放和實(shí)時(shí)真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費、直觀(guān)的配置軟件相結合，是用于傳感器編程、實(shí)時(shí)測量和診斷的即插即用解決方案。
用戶(hù)可以通過(guò) S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內放大信號。此外，還提供多種模擬輸出縮放選項，以模擬其他供應商的真空計和傳感器?？蛇x的輔助模擬輸出可對全范圍真空壓力和相對于大氣壓的壓力信號進(jìn)行外部監測。
SmartPirani™ ATM引入了一種新方法，通過(guò)多色LED直觀(guān)地確定測量的壓力，該LED在整個(gè)壓力范圍內平滑地改變顏色。這種可選的視覺(jué)功能是集成顯示器的低成本替代方案，可提供測量壓力的粗略視覺(jué)指示。如果真空系統加壓超過(guò)環(huán)境壓力，它還會(huì )提供清晰的視覺(jué)警告。
為了優(yōu)化負載鎖定性能，需要準確可靠地控制多個(gè)壓力參數。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個(gè)獨立的固態(tài)開(kāi)關(guān)繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負載鎖門(mén)。
與傳統的機電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有可靠性和更快的開(kāi)關(guān)時(shí)間，同時(shí)提供無(wú)電弧觸點(diǎn)，并且在開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)時(shí)不會(huì )產(chǎn)生EMI（電磁干擾）。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經(jīng)久耐用，并通過(guò)了 UL 認證、CSA 認證和 EN/IEC 60950-1 認證，在用于控制關(guān)鍵真空過(guò)程和高循環(huán)負載鎖定應用時(shí)具有最大的信心。
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