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簡(jiǎn)要描述:波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統 高壓 真空 XPS 系統唐:I582I984229
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波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統 高壓 真空 XPS 系統
波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統 高壓 真空 XPS 系統
該多功能系統專(zhuān)為對材料表面進(jìn)行精確多樣的分析而設計。
系統由固定真空室的主機架組成;分析室、制備室、負載鎖定室和線(xiàn)性轉移。所有框架都是獨立的,并配有帶螺釘鎖定裝置的腳輪,用于地板定位??蚣芸梢愿鶕枰獢嚅_(kāi)連接并移動(dòng)到實(shí)驗室內的其他位置。每個(gè)框架還配備了自己的烘烤帳篷。該系統非常通用,未來(lái)可以進(jìn)一步擴展以添加例如切割室、存儲室和/或 PLD 室。
該系統有一個(gè)獨立的獨立式控制器柜,用于真空和儀表設備。
UHV 系統包括各種互鎖渦輪分子泵組、離子泵和鈦升華泵。泵送系統、儀表和閥門(mén)(安全和通風(fēng))全由微處理器和軟件控制,并帶有完整的安全聯(lián)鎖裝置。
各個(gè)腔室都通過(guò)光纖出口進(jìn)行內部照明,以監視腔室之間的樣品轉移/支架機制。
該系統配備有蒸餾水冷卻器。
提供各種樣品架以提供廣泛的加熱和冷卻能力。
AES ARPES EA15 EA15-HP50 IS 40C1 IS 40E1 ISS Kerr效應 MBE MBE Chamber MBE腔室 Prevac PREVAC 離子源 TPD/TDS UHV特高壓多室分析系統 UHV表面科學(xué)分析系統 UPS UVS 40A2 XPS(ESCA) X 射線(xiàn)源 光電子能譜儀 光電子能譜測量?jì)x 半球分析儀 半球能量分析儀 原子力顯微鏡 原子力顯微鏡分析 原子力顯微鏡分析系統 多層薄膜的原位實(shí)時(shí)磁光Kerr效應 無(wú)油真空泵 殘留氣體分析儀 真空光譜儀 真空室 真空油泵 真空泵 真空泵系統 真空測控裝置 真空能量分析 真空能量分析光譜 真空腔 真空表面分析系統 離子源 表面分析系統 超薄磁性薄膜 高壓光發(fā)射光譜特高壓系統 高真空泵
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