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Thermionics 旋轉電子槍 蒸發(fā)源 真空組件

簡(jiǎn)要描述：Thermionics 旋轉電子槍 蒸發(fā)源 真空組件
聯(lián)系張經(jīng)理：I8721862549

  • 產(chǎn)品型號：HCR系列
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-12-12
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：497
產(chǎn)品分類(lèi)PRODUCT

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Thermionics 旋轉電子槍 蒸發(fā)源 真空組件

HCR系列旋轉電子槍是一種全金屬密封的電子槍?zhuān)?到8個(gè)坩堝版本，最多可連續沉積8種以上的材料。標準安裝在外徑為12英寸的CF法蘭上，包括自動(dòng)分度器和所有機械和電氣連接。

HCR系列旋轉電子槍主要特征：
可提供3至8個(gè)坩堝
270°光束偏轉
多坩堝，旋轉設計
可互換坩堝組件
長(cháng)壽命發(fā)射器組件
易于更換燈絲
永磁梁定位
整體式掃掠線(xiàn)圈
提供底部或側面驅動(dòng)



HCR系列旋轉電子槍技術(shù)參數：

FeatureSpecifications
最大功率10 kW
發(fā)射電壓-6 to -10 kV
發(fā)射電流0 to 1 A
燈絲700 W
電子束偏轉270°
光束光斑尺寸.25″ diameter, tight beam
蒸發(fā)率1 gram/min @ 10 kW
36,000 ?/min Al @ 10″ (250 mm) source-to-substrate distance
X and Y 掃描Longitudinal and lateral control up to 200 Hz when operated with Thermionics sweep controller
水3 gpm, 20°C, 50 psi pressure differential
坩堝材質(zhì)OFE copper
烘烤溫度120°C (250°F)

HCR系列旋轉電子槍安裝配置
每個(gè)e-Gun 都有三種標準安裝配置：
e-Gun™安裝在PyraFlat或ConFlat金屬密封型法蘭上，該法蘭使用標準OFE銅墊片
e-Gun™配備直徑為1英寸的螺栓式安裝座，通過(guò)直徑為1"的孔安裝，并由壓縮O型圈密封
e-Gun™單獨使用，無(wú)安裝法蘭
請在下單時(shí)安裝配置；成本可能不包括螺栓式或法蘭式安裝。

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